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干式真空泵的应用范围

2020-02-05

现在干式真空泵越来越受到人们的欢迎,应用范围也越来越广,具体都应用在哪些领域呢?下面的文章为大家介绍一下:

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等;

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染:

干式真空泵的出现,为真空行业增添了一抹新的“靓丽风景”,因其良好的性能被广泛应用在各个行业: